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SI-F 系列 微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計
型號： SI-F 系列
品牌： 日本基恩士KEYENCE
產(chǎn)品描述
SI-F 系列 傳感頭包括超小傳感頭、長距離傳感頭和適用于其他各種應(yīng)用的專用傳感頭。 傳感頭只由光纖和鏡頭組成，不包含電子零件 在自動化應(yīng)用和傳感應(yīng)用中無可挑剔的表現(xiàn)。 微型傳感頭可用于測量硅晶片等精密物體的厚度和翹曲度。 0.25 μm 的分辨率 算術(shù)運算電路將測量數(shù)據(jù)即時轉(zhuǎn)換為厚度。 傳感頭中沒有電子部件，不會產(chǎn)生熱量。 微型傳感頭可用于測量復(fù)印機等精密機械中的各個部件的動作。 無需預(yù)留安裝位置。 即使緊靠發(fā)熱的機身也能進行測量。 即使是高速工件也可安全地測量。 微型傳感頭可用于檢測載物臺停止的位置，因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關(guān)設(shè)備。 無碰撞危險。 實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制。 無需預(yù)留安裝位置。 微型傳感頭可用于測量各種要求精確測量的輥（例如膠輥）的偏轉(zhuǎn)。 非接觸測量方式避免損傷工件。 控制器即時算出并顯示偏轉(zhuǎn)度。 可緊跟高速旋轉(zhuǎn)的工件。 微型傳感頭可用于測量曝光掩模和玻璃基板的間隙。 即使掩模較厚亦可安裝微型傳感頭。 無需預(yù)留安裝位置。 傳感頭中沒有電子部件，不會產(chǎn)生熱量。 微型傳感頭可用于測量玻璃盤等光學(xué)透明物體的厚度。 0.25 μm 的分辨率 可測量高速旋轉(zhuǎn)的工件的厚度。 實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制。 型號 SI-F01 SI-F10 SI-F80 類型 微型傳感頭型 傳感頭 長距離型 傳感頭 厚度測量型 傳感頭 測量范圍 0.05 至 1.1 mm *1 11.3 至 12.35 mm *1 0.05 至 1.1 mm *6 測量用光源 紅外 SLD 中心波長 820 nm 輸出 0.6 mW, 1 類激光產(chǎn)品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2) 光束直徑 ?20 μm*3 ?40 μm*3 ?20 μm*3 線性度 ±0.3 μm*4 ±0.3 μm*7 分辨率 0.25 μm *5 采樣周期 200 μs 導(dǎo)向光源 紅色半導(dǎo)體激光 波長 650 nm 輸出 0.1 mW, 1 類激光產(chǎn)品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2) LED顯示 目標靠近測量中心：綠光。目標在測量范圍內(nèi)：橙光。目標在測量范圍外：橙光閃爍。0.01% 的 F.S./°C 溫度波動 F.S.的0.01% 環(huán)境抗耐性 外殼防護級 IP67 IP64 環(huán)境光照 白熾燈/熒光燈：最大 10,000 lux 環(huán)境溫度 0 至 +85 °C 0 至 +40 °C 0 至 +50 °C 相對濕度 35 至 85 % RH (無凝結(jié)) 抗震性 10 至 55 Hz、雙振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 個小時 材料 SUS 材料 傳感頭 分光單元 聚碳酸酯 重量 約 24 g (含連接線) 約 38 g (含連接線) 約 39 g (含連接線) *1 表示與傳感頭正面的距離。對于長距離型傳感頭，會出現(xiàn)最大 ±0.2 mm 的個別差異。 型號 SI-F1003V SI-FA103 獨立型 SI-F1003/SI-FD500 類型 主控制器一體型 擴展控制器*3 可連接的光譜單元數(shù) 2 1 顯示 最小顯示單位 0.001 μm 無 顯示范圍 ±999.999 μm 至 ±9,999.99 mm，(可選 7 種設(shè)定) 顯示周期 10 次／秒 端子臺 激光遠程聯(lián)鎖輸入 無電壓輸入*1 無*1 定時 1 輸入 無電壓輸入 2*1 復(fù)位 1 輸入 無電壓輸入*1 自動調(diào)零1 輸入 激光控制輸入 模擬電壓輸出 ±10 V x 2 輸入，輸出阻抗: 100 ?*1 ±10 V x 1 輸入，輸出阻抗: 100 ?*1 模擬電流輸出 4 至 20 mA x 2 輸出，最大負載阻抗: 350 ?*1 4 至 20 mA x 1 輸出，最大負載阻抗: 350 ?*1 警報輸出 NPN 開集極輸出(N.C.)*1 無*1 通用比較器輸出 NPN 開集極輸出*1 擴展接口 定時輸入 無電壓輸入 2*1 復(fù)位輸入 無電壓輸入*1 自動調(diào)零輸入 程序切換輸入 無電壓輸入 x 3 輸入*1 警報輸出 NPN 開集極輸出(N.C.)*1 比較器/ 二進制 輸出 二進制輸出 測量數(shù)據(jù)輸出 (21 位), 可選 OUT 的 NPN 開集極輸出*1 選通脈沖輸出 NPN 開集極輸出*1 二進制選擇輸出 二進制選擇輸入 無電壓輸入*1 RS-232C 接口 測量數(shù)據(jù)輸出和控制輸入/輸出 (波特率最高可選擇 115200 bps) 無 USB 接口 兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED) Ethernet 接口 100Base-TX/10Base-T 主要功能 12 個 OUT 同時測量 額定 電源電壓 24 VDC ±10 %、紋波 (P-P) 10 % 以下 隨主控制器提供 消耗電流 連接 1 個傳感頭時: 0.6 A 以下、連接 6 個傳感頭時: 1.5 A 以下。 環(huán)境抗耐性 環(huán)境溫度 0 至 +50 °C*2 相對濕度 35 至 85 % RH (無凝結(jié)) 抗震性 10 至 55 Hz、雙振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 個小時 重量 約 600 g 約 300 g *1 ? NPN 開極集極額定輸出：最大 50 mA(最大 40 V)，殘余電壓：最大 0.5 V。微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計
特性
傳感頭變化靈活，擴大測量范圍
消除發(fā)生測量錯誤的隱患
SI-F 系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計應(yīng)用
測量晶片厚度
[優(yōu)點]
超高分辨率多功能控制器
不發(fā)熱
測量復(fù)印機中的輥的動作。
[優(yōu)點]
?2 mm 微型傳感頭最高可承受 85°C
5 kHz 高速采樣
定位高精度載物臺
[優(yōu)點]
10 mm 以上的設(shè)定距離最多 6 軸同時測量
?8 mm 小型傳感頭
高精度測量輥的偏轉(zhuǎn)。
[優(yōu)點]
對工件無傷害直接表示偏轉(zhuǎn)度
5 kHz 高速采樣
測量曝光掩模的間隙
[優(yōu)點]
80 mm 的設(shè)定距離?12 mm 小型傳感頭
不發(fā)熱
測量玻璃盤的厚度
[優(yōu)點]
超高分辨率5 kHz 高速采樣
最多 6 軸同時測量
(可實現(xiàn)的檢測距離: 80 至 81.1 mm)
*2 FDA 的激光分類以 Laser Notice No. 50 和 IEC60825-1 為依據(jù)。
*3 表示量測範圍內(nèi)的最小光束直徑。
*4 當(dāng)測量對象是玻璃板并將平均測量次數(shù)設(shè)為 256 時獲得的值。
*5 當(dāng)測量位于測量范圍中心的玻璃板表面并將平均測量次數(shù)設(shè)為 4,096 時獲得的值。
*6 厚度測量型傳感頭顯示玻璃板間距的測量范圍。請確保測量對象位于檢測距離范圍內(nèi)。
*7 當(dāng)測量兩塊玻璃板間隙并將平均測量次數(shù)設(shè)為 256 時獲得的值。
計算、平均、濾波器、換算測量、測量值警報、容差設(shè)定、自動調(diào)零，數(shù)據(jù)存儲， 光線監(jiān)控器、8 程序存儲器、干涉計模式、遮罩、設(shè)定支持軟件連接等。
? 無電壓額定輸入：啟動電壓：最大 1 V，關(guān)閉電流：最大 0.6 mA。
? SI 系列的部分輸入/輸出電路是內(nèi)部共用電路。請注意，內(nèi)部公共端之間不會因連接線/外部設(shè)備之間的電位差而產(chǎn)生電位差。
要了解詳細信息，請參見“接線注意事項”。
*2 當(dāng)連接兩個或更多擴展控制器時，環(huán)境溫度為 0 至 +40 °C。
*3 最多可在主控制器上連接 4 個擴展控制器。